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非晶态Zn-Sn-O薄膜的表面化学与长期稳定性

DOI:10.1021/acs.jpcc.8b09412 期刊:The Journal of Physical Chemistry C 出版年份:2018 更新时间:2025-09-09 09:28:46
摘要: 非晶(a-)氧化物是透明导电/半导体薄膜的重要类别,用作薄膜晶体管中的电极和沟道层。通过掺杂实现的非晶态成分可调性,使得薄膜的电学性能可以从导电性精细调控至半导体特性。然而这些薄膜的表面化学性质与稳定性却鲜少被研究。由于无序结构,非晶材料的表面研究总体而言较为匮乏。本研究采用掠入射X射线吸收光谱技术,探究了a-Zn-Sn-O薄膜的长期表面稳定性。我们详细描述了薄膜表面结构及其随时间演变的过程,发现局部表面结构与晶态对应物高度相似,且表面化学性质受空位、应变、成分及薄膜密度共同支配。研究表明:当薄膜具有高锌含量和低密度时,其长期稳定性存疑。
作者: Stephanie L. Moffitt,D. Bruce Buchholz,Robert P. H. Chang,Thomas O. Mason,Tobin J. Marks,Michael J. Bedzyk,Qing Ma
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研究非晶态Zn-Sn-O薄膜的长期表面稳定性和化学性质,以理解其随时间的结构演变及影响其稳定性的因素。

研究得出结论:非晶态Zn-Sn-O薄膜的表面化学特性和稳定性显著受薄膜成分与密度影响。高锌含量且低密度的薄膜尤其容易随时间推移出现表面退化。该发现强调了在设计用于电子应用的稳定非晶氧化物薄膜时,需考虑成分可调性及密度因素的重要性。

该研究的局限性在于非晶表面因其无序特性而难以表征。此外,长期稳定性评估仅基于两年期数据,可能无法完全反映薄膜在更长时间尺度上的表现。

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