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热阴极真空电弧技术沉积的石墨烯掺杂氧化锌（ZnO:Gr）纳米复合薄膜物理性能测定
摘要： 本研究采用热阴极真空电弧(TVA)技术，重点研究了石墨烯掺杂氧化锌(ZnO:Gr)纳米复合薄膜的生长。将ZnO:Gr纳米复合薄膜沉积在玻璃和硅(Si)基底上，通过干涉仪、紫外-可见分光光度计、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱仪、傅里叶变换红外光谱(FTIR)、光致发光(PL)光谱、场发射扫描电子显微镜(FESEM)和原子力显微镜(AFM)等多种分析技术，研究了掺杂效应对ZnO:Gr纳米复合薄膜结构、光学及形貌特性的影响。测得沉积在玻璃和Si基底上的ZnO:Gr纳米复合薄膜厚度分别为50 nm和20 nm。XRD图谱中观察到ZnO和碳纳米结构的衍射峰。利用紫外-可见分光光度计和光学干涉仪确定了ZnO:Gr纳米复合薄膜的折射率、反射率、透射率、吸光度及光学带隙曲线。通过光学方法测定玻璃基底上ZnO:Gr纳米复合薄膜的光学带隙为3.15 eV，该结果与PL测量值高度吻合。PL光谱显示397 nm(3.12 eV)处存在紫外(UV)发射峰。拉曼分析表明ZnO:Gr纳米复合薄膜中存在ZnO特征峰以及石墨烯的D峰和2D峰。FTIR光谱用于分析样品化学成分。AFM和FESEM分析显示ZnO:Gr纳米复合薄膜表面光滑平整，呈颗粒状均匀致密结构。由于晶粒尺寸较大，Si基底上ZnO:Gr纳米复合薄膜的电阻率低于玻璃基底沉积样品。因此，ZnO:Gr纳米复合薄膜作为透明导电氧化物(TCO)材料具有良好应用前景。
关键词： 场发射扫描电子显微镜（FESEM）、总挥发性有机化合物（TVA）、氧化锌：石墨烯纳米复合薄膜（ZnO:Gr nanocomposite thin films）、X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）
更新于2025-09-23 15:23:52
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《AIP会议论文集》[作者：SolarPACES 2017：国际聚光太阳能与化学能源系统会议——智利圣地亚哥（2017年9月26-29日）] - 碳钛多层薄膜：合成与表征
摘要： 采用热阴极真空电?。═VA）法在硅基底上制备了碳-钛（C-Ti）多层薄膜。涂层由低蒸发速率沉积的约100纳米碳基底层构成，随后在其上方交替沉积七组碳钛层，每层最终厚度达40纳米。本研究通过改变基底温度（0℃至300℃）和施加负偏压（0V至-700V）获得不同批次样品。利用透射电镜（TEM）、扫描电镜（SEM）、扫描透射电镜（STEM）及拉曼光谱技术表征了C-Ti多层结构的微观特性。摩擦学测量结果与Ti/C界面原子扩散过程相关。通过测量电阻随温度变化评估了导电性能。
关键词： Ti/C多层膜、TVA、扫描透射电子显微镜（STEM）、摩擦学性能、扫描电子显微镜（SEM）、能量色散X射线光谱（EDX）、拉曼光谱、电学性能、透射电子显微镜（TEM）
更新于2025-09-09 09:28:46
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热电子真空电弧沉积的纳米层Mo_xS_y薄膜的微观结构、表面及光学特性研究
摘要： 采用热阴极真空电弧(TVA)技术，在玻璃基底上沉积了二硫化钼(MoxSy)薄膜。二硫化钼作为低摩擦系数固体润滑材料，属于二维材料。本研究测定了该二维(MoxSy)材料的特性。X射线衍射图谱显示二维涂层中存在MoS2、Mo2S3、Mo3S4和Mo15S19的混合晶相反射面。测得薄膜厚度为30纳米，晶粒尺寸计算值范围为6-20纳米。沉积的二维层带隙能约为1.98电子伏特，其介电常数非常接近4.3。通过光致发光和拉曼分析确定了光学杂质与缺陷，同时采用球盘法测量了该二维纳米层的摩擦系数。
关键词： 光学性能、微观结构特性、二硫化钼薄膜、TVA
更新于2025-09-09 09:28:46