研究目的
采用TVA方法合成并表征纳米结构C-Ti多层膜,重点研究其力学、光学和电学性能。
研究成果
该研究成功采用TVA法合成了C-Ti多层膜并完成表征。摩擦学测试表明摩擦系数随法向载荷增大而降低。拉曼光谱显示存在TiC、Ti3C2O2和Ti3C2相的混合。高分辨透射电镜图像证实了TiC和C的局部晶态组织存在。电学测量显示电导率随温度升高而降低,表明这些结构具有良好的隔热性能。
研究不足
该研究的局限性在于所采用的TVA沉积方法的具体条件及所应用的表征技术。潜在的优化方向包括探索其他沉积方法和扩展表征技术的范围。
1:实验设计与方法选择:
本研究采用热阴极真空电?。═VA)法在硅基底上沉积C-Ti多层膜,该多层膜由碳基层和七层交替的碳钛层构成。
2:样品选择与数据来源:
通过改变基底温度和离子加速电位制备了四批样品。
3:实验设备与材料清单:
实验装置包含沉积腔室内的两个独立阳极-阴极系统。
4:实验流程与操作步骤:
沉积过程包括设定基底温度和偏压,随后采用电子显微镜技术和拉曼光谱进行表征。
5:数据分析方法:
通过分析摩擦学、拉曼及电学测量数据以探究多层膜的性能。
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