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[2018年IEEE第七届世界光伏能源转换大会(WCPEC)（第45届IEEE光伏专家会议、第28届国际光伏科学与技术会议及第34届欧洲光伏专家会议联合会议）- 美国夏威夷州威科洛亚村（2018年6月10日-2018年6月15日）] 2018年IEEE第七届世界光伏能源转换大会(WCPEC)（第45届IEEE光伏专家会议、第28届国际光伏科学与技术会议及第34届欧洲光伏专家会议联合会议）- 面向大规模生产的硅片及成品太阳能电池等离子体织构化技术

DOI：10.1109/PVSC.2018.8547438 出版年份：2018 更新时间：2025-10-22 19:40:53
摘要： 由于实施前需克服表面污染、离子轰击导致的近表面损伤及表面钝化等若干挑战，标准硅片等离子体织构技术尚未在大规模生产中广泛应用。本文将展示我们当前应对这些挑战的进展，证明仅采用感应耦合等离子体（ICP）织构的样品其电学与光学特性已满足太阳能电池生产要求。鉴于ICP工艺中离子轰击强度较低，我们将基于自掩模工艺的实验结果，阐述对等离子体工艺的现有认知。此外，首次提出一种针对成品太阳能电池SiN层进行等离子体织构的新方法，该方法可解决裸硅片等离子体织构带来的所有问题。
作者： Dominik Lausch，Jens Hirsch，Norbert Bernhard
机构： Fraunhofer Center for Silicon Photvoltaics CSP, Anhalt University of Applied Sciences，Anhalt University of Applied Sciences
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

研究将硅片及成品太阳能电池的等离子体纹理化技术应用于大规模生产所面临的挑战与解决方案，重点解决表面污染、离子轰击损伤及表面钝化等问题。

研究成果

ICP等离子体纹理化样品展现出足以用于太阳能电池生产的电学和光学特性，同时提出了一种对成品太阳能电池的SiN层进行纹理化的新方法，以解决先前的难题。

研究不足

该研究承认了潜在的等离子体诱导杂质问题，以及由于暴露于空气后脱附现象导致难以检测SiOxFy层中氟元素的挑战。

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