研究目的
利用轴向响应的主瓣和旁瓣来扩展基于光纤的双探测器色差共焦探针在Z方向上的测量范围，该探针采用锁模飞秒激光源。
研究成果
所提出的方法成功地将基于光纤的双探测器色散共焦探针的测量范围从40微米扩展到250微米，且无需对光学系统进行任何改动。通过理论计算和实验验证了该方法的可行性。
研究不足
该方法需要设置离焦量d为110微米以使旁瓣可见并可识别，这可能会影响轴向分辨率。未来研究将聚焦于三维微结构成像、光学相位与光学复振幅提供的深度测量，以及测量不确定度分析。
1：实验设计与方法选择：
该方法采用双探测器色散共焦探头配合锁模飞秒激光光源，通过分析归一化强度比与反归一化强度比的轴向响应来扩展测量范围。
2：样本选择与数据来源：
以安装在一维压电（PZT）定位平台上的平面镜作为测量目标，使用电容式位移传感器测量镜面位移。
3：实验设备与材料清单：
锁模飞秒激光器（C-Fiber，MenloSystems）、单模阶跃折射率光纤、光谱分析仪（AQ6370D，横河电机）、偏振分束器（PBS）、四分之一波片（QWP）、色差物镜（Edmund Optics，#67-484）、消色差透镜及精密手动平台系统。
4：4）、消色差透镜及精密手动平台系统。 实验流程与操作步骤：
4. 实验流程与操作步骤：使平面镜沿Z轴方向以2微米为步长移动获取轴向响应，根据镜面各Z向位置对应归一化强度比与反归一化强度比的质心位置计算峰值波长。
5：数据分析方法：
通过提取归一化强度比和反归一化强度比中的峰值波长，研究峰值波长与Z轴方向位移的关系。
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Edmund Optics
Focusing the collimated laser beam on the measurement target
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