研究目的
研究基于硅的混合等离子体微环谐振器的传感特性，用于无标记光学传感应用。
研究成果
基于硅的混合等离子体微环谐振器展现出高Q值、小模式体积以及大折射率灵敏度，适用于微/纳传感应用。通过调节其尺寸可控制该结构的性能，在灵敏度与检测限之间实现平衡。
研究不足
该研究侧重于采用有限元法进行理论分析，未涉及实际制造挑战与实验验证。高Q值与灵敏度之间的权衡可能限制传感器性能的优化。
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基于硅的混合等离子体微环谐振器的模式与传感特性
DOI：10.1007/s12596-019-00552-y
期刊：Journal of Optics
出版年份：2019
更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要：
提出了一种基于硅的混合等离子体微环谐振器，该器件由绝缘体上硅环与银纳米环通过低介电常数介质隔开，适用于传感应用。得益于混合模式和纳米环的环形横截面结构，这种混合微腔能从硅环微腔中吸引部分腔能量，实现高能量占比和高折射率灵敏度。通过有限元方法研究了该混合微腔的性能，并分析了不同结构几何参数的影响，结果显示其具有高品质因数1181、小模体积0.154立方微米以及大折射率灵敏度529.6纳米/折射率单位（RIU）。因此，这种基于硅的混合等离子体微环谐振器为深亚波长尺度的传感应用提供了潜在可能。
作者：
Meng Zhang，Genzhu Wu，Daru Chen，Binbin Liu
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