研究目的
研究掺钪氮化铝（AlScN）薄膜的热释电性，探索其在红外探测器中的潜在应用。
研究成果
研究得出结论，AlScN的热释电响应很可能源于夹持效应产生的压电贡献，这对于设计基于AlScN薄膜的红外敏感器件具有重要意义。
研究不足
该研究承认精确测量热释电系数时两种测量方法的复杂性，以及激光驱动器在更高调制频率方面需要进一步改进。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用基于激光的高频温度激励测量装置来表征AlScN薄膜的热释电性能。
2：样品选择与数据来源：
AlScN薄膜沉积于带有铂电极的氧化硅衬底上。
3：实验设备与材料清单：
量子级联红外激光器、Keithley 2000万用表、锁相放大器、aixACCT系统双光束激光干涉仪（DBLI）。
4：实验步骤与操作流程：
通过热板法和激光技术两种方式测量热释电响应，采用DBLI测量压电模量。
5：数据分析方法：
基于材料特性和测量条件进行数值模拟以计算热释电系数。
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Keithley 2000 Multimeter
2000
Keithley
Probing the voltage change across the top electrode and bottom electrode with the high impedance input.
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quantum-cascade infrared laser
Stimulates the temperature within the sample film with variable modulation frequencies up to 120 kHz.
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Lock-In amplifier
Recording the pyroelectric current in a triaxial setup with a bandwidth of up to 5 MHz.
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aixACCT Systems Double Beam Laser Interferometer
DBLI
aixACCT Systems
Measuring the longitudinal effective piezoelectric modulus d33 of AlScN thin-films.
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