研究目的
研究将自组装Ge(Si)量子点集成到二维光子晶体中的不同方法,并探究此类体系的发光特性。
研究成果
研究了将有序自组装的Ge(Si)量子点阵列集成到基于二维光子晶体微腔中的不同方法。研究表明,通过改变光子晶体孔径直径,可以实现两种量子点生长模式,使量子点形成于光子晶体孔内或孔外。检测发现,将有序量子点集成到光子晶体中的结构,在室温下0.9-1.2电子伏特光谱范围内具有增强的光致发光信号强度。
研究不足
有序量子点的表面密度相对较低,且与平面硅表面形成的量子点相比,其硅含量更高。有序量子点表面密度低是导致具有有序量子点结构的光致发光光谱中锗润湿层信号占主导地位的原因。
1:实验设计与方法选择:
考虑了两种制备有序量子点阵列并集成光子晶体的方法。第一种是先生长含量子点阵列的结构,再在其上形成光子晶体;第二种是先形成光子晶体,再生长量子点结构。
2:样品选择与数据来源:
采用绝缘体上硅(SOI)衬底,通过电子束光刻和等离子体辅助化学刻蚀对衬底表面进行纹理化处理。
3:实验设备与材料清单:
分子束外延(MBE)装置、扫描电子显微镜(SEM)、具有高空间和光谱分辨率的微光致发光(micro-PL)测量装置、布鲁克IFS 125HR傅里叶光谱仪。
4:实验步骤与操作流程:
结构制备包括衬底表面纹理化、生长空间有序的Ge(Si)量子点阵列以及形成光子晶体,通过微光致发光测量研究其发光特性。
5:数据分析方法:
使用布鲁克IFS 125HR傅里叶光谱仪配合冷却锗探测器检测微光致发光信号。
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