研究目的
利用光谱椭偏仪和穆勒矩阵光谱椭偏仪研究垂直腔面发射激光器应用中亚波长光栅结构的表征特性。
研究成果
研究表明，MM-MBD计量技术能通过单次测量准确表征取向不确定的光栅结构，相比需要多次测量或额外方位旋转硬件的SE-MBD方法具有显著优势。该方法为VCSEL制造中纳米结构的快速无接触检测提供了可靠工具。
研究不足
该研究的局限性在于锥形入射建模的计算需求以及MM-MBD测量所需的复杂光学硬件。此外，原子力显微镜探针针尖的曲率可能会影响AFM测量的准确性。
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利用光谱椭偏仪监测垂直腔面发射激光器应用中的亚波长光栅结构
DOI：10.1116/1.5122771
期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B
出版年份：2019
更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要：
基于砷化镓的垂直腔面发射激光器（VCSELs）因其广泛应用于成像技术、光学传感器和互连领域，已成为增长最快的市场之一。这类激光二极管的稳定单模运行通常通过在砷化镓半导体表面形成亚波长结构来实现。在制造过程中，人们期望能快速且最好是非接触式地检测这些纳米结构?；诠馄淄制堑募屏糠椒ㄒ殉晌氲继逍幸抵胁豢苫蛉钡哪擅捉峁贡碚鞴ぞ?。椭偏测量法的高级应用是采用穆勒矩阵椭偏仪，该方法能表征标准椭偏测量难以测定或无法触及的结构细节。本文作者展示了在VCSEL制造过程中，通过基于模型的尺寸计量技术，利用光谱椭偏仪和穆勒矩阵光谱椭偏仪对衬底进行纳米结构表征的研究结果。
作者：
Emeric Balogh，Peter Basa，Attila Suto，Benjamin Powell，Anna B?lcskei-Molnár，Szilvia Biró
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