研究目的
回顾电光铌酸锂波导的演变历程，并探讨在降低光损耗和功耗的同时提高电光效率方面的进展。
研究成果
铌酸锂因其稳定且可重复的特性，仍是工业界和学术界高度关注的材料。离子切片和光学梯度冰冻等制造技术的进步，使得更紧凑、高效且低损耗的波导得以开发。纳米结构和光子晶体的集成为进一步提高电光效率和降低功耗提供了有前景的途径。
研究不足
这些限制包括光限制与光纤耦合损耗之间的权衡、某些波导类型的制造工艺复杂性，以及实现纳米结构波导商业化性能水平所面临的挑战。
本章综述了铌酸锂波导的多种制备技术，包括钛扩散、质子交换、湿法刻蚀或等离子体刻蚀形成的脊形波导、粘附脊形波导、通过光学梯度冰法制备的高纵横比脊形波导、基于薄膜和离子切片工艺的膜基波导，以及纳米结构和光子晶体。每种方法均从光场限制能力、损耗降低效果及电光效率提升等方面进行了讨论。
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