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工业计量中位移激光干涉仪系统的校准

DOI：10.3390/s19194100 期刊：Sensors 出版年份：2019 更新时间：2025-09-12 10:27:22
摘要： 位移激光干涉仪系统广泛用于机床和坐标测量机（CMM）的校准。此外，它们通常是尺寸校准实验室的主力设备，在许多校准工作中作为基本的计量溯源性环节。本文综述了此类系统的校准方法，包括单独组件校准与系统整体校准等多种方式。涉及的校准内容包括：激光频率、计数系统、环境条件的软件评估、环境与材料温度传感器校准，以及作为系统组成部分的光学元件校准。针对这些校准项目，本文还探讨了实施方法及重新校准周期的确定依据。
作者： Han Haitjema
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

审查用于机床和坐标测量机校准的位移激光干涉仪系统的校准情况，重点关注几种方法，包括单独组件或整个系统的校准。

研究成果

对于位移激光干涉仪系统，许多良好实践已经确立，众多认证实验室也能提供合格服务。不过，关于某些校准的必要性和可行性仍可做出合理选择。用户可自行开展部分测试，例如噪声检测和环境条件软件核查；基于数十年积累的通用知识和经验，某些校准（如计数系统、光学部件乃至激光频率）可能只需进行一次或间隔很长时间才需校准。

研究不足

该论文探讨了实验的技术和应用限制，包括某些校准的必要性与可行性，以及潜在的优化领域，例如环境传感器的定期重新校准。

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