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[2019年IEEE第16届第四组光子学国际会议(GFP) - 新加坡, 新加坡 (2019.8.28-2019.8.30)] 2019年IEEE第16届第四组光子学国际会议(GFP) - 面向氮化硅光子平台中波导上透明电路的实现

DOI：10.1109/GROUP4.2019.8926124 出版年份：2019 更新时间：2025-09-16 10:30:52
摘要： 我们展示了在氮化硅波导上使用金属碳纳米管（CNTs）制成的透明电导体。在氮化硅微环谐振器（MRR）上以2%的最优覆盖率覆盖时，在电流密度达到35 μA/μm之前，透射率变化可忽略不计。
作者： Aneesh Dash，P. R. Yasasvi Gangavarapu，Siddharth Nambiar，Vadivukkarasi Jeyaselvan，Viphretuo Mere，S. K. Selvaraja，A.K. Naik
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

利用金属碳纳米管（CNTs）在氮化硅波导上展示透明电导体，在电流密度达到35微安/微米时仍能实现可忽略不计的传输损耗变化。

研究成果

金属碳纳米管已被证实可作为氮化硅波导上的透明导电材料，在2%覆盖度下表现出可忽略的光学吸收，且直至35微安/微米的电流密度时传输性能无明显下降。其40千欧的直流电阻及S11参数在10吉赫兹内保持平坦的特性，为在氮化硅光子平台上实现电路提供了良好前景。

研究不足

该研究的局限性在于碳纳米管（CNTs）在氮化硅微环谐振器（SiN MRR）上的覆盖比例，最佳性能出现在2%的覆盖比例下。更高的覆盖比例会导致光学吸收增加。通过退火处理可以进一步降低碳纳米管互连的电阻。

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