研究目的
利用钯和金合金纳米结构开发光纤氢传感器，以实现高灵敏度的氢气检测。
研究成果
在D形光纤上制备的带有PdAu合金纳米结构的光纤氢气传感器在灵敏度、响应时间和可逆性方面显示出显著提升。VLSI微制造方案被证明能有效生产高性能光纤传感器。
研究不足
该研究聚焦于氢气浓度最高达10%及室温条件下的情况。针对更高浓度和不同温度的进一步研究仍有待开展。
1：实验设计与方法选择：
采用无掩模反应离子刻蚀技术在D形光纤上制备二氧化硅纳米锥结构，并在纳米结构表面沉积PdAu合金用于氢气传感。
2：样品选择与数据来源：
使用康宁公司制造的D形光纤，氢气浓度范围为0.25%至10%（常压环境）。
3：25%至10%（常压环境）。 实验设备与材料清单：
3. 实验设备与材料清单：反应离子刻蚀机（Trion Phantom Ⅲ）、溅射镀膜设备（Denton TSC）、扫描电镜（Zeiss Sigma）、透射电镜（FEI Titan Themis G2 200 Probe Cs校正）。
4：实验流程与操作步骤：
通过反应离子刻蚀在D形光纤上形成纳米锥，随后沉积PdAu合金，利用光传输测量进行氢气传感测试。
5：数据分析方法：
基于光传输功率变化分析传感器响应时间和灵敏度。
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获取完整内容-
SEM
Zeiss Sigma
Zeiss
Used for characterizing the morphology of the etched D-shaped fiber.
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TEM
FEI Titan Themis G2 200 Probe Cs Corrected
FEI
Used for studying the distribution of alloy thin film on nanocones.
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Reactive ion etcher
Trion Phantom Ⅲ
Trion
Used for creating nanocone structures on D-shaped fibers.
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Sputter coating process
Denton TSC
Denton
Used for depositing PdAu alloy on the fiber surface.
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