研究目的
研究采用频偏锁定二极管激光器的外差激光多普勒振动测量技术在声表面波（SAW）滤波器高频振动分析中的应用。
研究成果
外差激光多普勒振动显微镜能够有效测量高频下的振动幅度和相位，分辨率可达皮米量级。未来的改进方向包括电磁干扰屏蔽以及采用平衡检测来降低强度噪声。
研究不足
系统的灵敏度受限于分布式布拉格反射(DBR)二极管激光器的强度噪声和光电探测器的带宽。来自交叉工作台的电磁干扰会影响锁相环的稳定性。更高频率的测量需要带宽大于2GHz的光电探测器。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用外差式激光多普勒振动显微镜，通过光学锁相环控制两台二极管激光器的频率偏移，实现精确的振动测量。
2：样本选择与数据来源：
以Plessey半导体公司生产的SAW滤波器（型号SAW153）为测量对象，重点分析其叉指电极的振动特性。
3：实验设备与材料清单：
包括分布布拉格反射激光二极管、光电探测器、显微镜光学系统、矢量网络分析仪及存储示波器。
4：实验流程与操作步骤：
实验装置通过激光聚焦测量对象，进行信号生成与检测，并利用LabVIEW软件实现自动化数据采集。
5：数据分析方法：
信号处理采用IQ调制与希尔伯特变换进行解调，随后开展振幅与相位分析。
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获取完整内容-
Speicheroszilloskop
InfiniiVision 54855A
Agilent
Recording the excitation and measurement signals for analysis.
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DBR-Diodenlaser
Generating laser beams for the interferometric setup.
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Photodetektor
Detecting the interference signal for vibration analysis.
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Vektor-Netzwerkanalysator
S5065
Copper Mountain Technology
Generating and measuring the excitation signal for the SAW filter.
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