研究目的
采用整体布局、偏振相移技术和共模抑制方法设计长度干涉测量系统，以实现大行程、高精度的单频激光干涉测量。
研究成果
该系统实现了0.8纳米的分辨率，在短时间内比雷尼绍XL-80激光干涉仪更稳定，具有纳米级分辨率。系统的有效性已在60毫米的测量范围内得到验证。
研究不足
系统的测量精度受环境温度、大气压力、振动以及光学元件非理想性能的影响。实验导轨的最大行程约为65毫米，限制了测试范围。
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大行程高精度偏振激光干涉仪系统的分析与设计
DOI：10.4028/www.scientific.net/kem.679.129
期刊：Key Engineering Materials
出版年份：2016
更新时间：2025-09-16 10:30:52
摘要：
采用单频激光干涉测量技术具有极高的测量精度，但对光学设计要求严苛且受多种因素影响。为实现大行程高精度单频激光干涉测量，该长度干涉测量系统采用整体布局、偏振相移技术和共模抑制方法进行设计。本文分析了影响大行程测量精度的因素及设计要求，基于偏振相移技术，系统采用四光束信号检测技术与共模抑制方法，对四个相互正交的信号进行差分处理，从而降低强度零漂和环境变化对系统的影响。结合200细分，系统实现了0.8纳米的分辨率。在VC++环境下，根据环境参数对位移测量结果进行补偿修正。与Renishaw XL-80激光干涉仪相比，该系统短期稳定性更优，在60毫米测量范围内验证了系统有效性。
作者：
Wan Duo Wu，Qiang Xian Huang，Chao Qun Wang，Ting Ting Wu，Hong Xie
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