研究目的
开发一种光学方法，用于间接评估采用直接激光干涉图案化（DLIP）技术制造的表面结构的质量和形貌。
研究成果
所开发的光学系统能够区分具有特定表面参数的不同结构组，对浅表结构的次级调制具有更精确的检测能力。该方法未来可用于监测制造过程，既能确保高质量生产，又能检测工艺不稳定性。
研究不足
系统的测量质量受限于照明光源（低功率二极管激光器），因此无法对具有深结构的图案进行表征。
1：实验设计与方法选择：
采用双光束DLIP配置，在1064纳米波长下于不锈钢表面制备重复间距为4.9微米的线状表面图案。
2：9微米的线状表面图案。 样品选择与数据来源：
2. 样品选择与数据来源：使用标称厚度1毫米的电抛光1.430不锈钢。
3：430不锈钢。 实验设备与材料清单：
3. 实验设备与材料清单：NeoLase Nd:YAG激光器、DLIP光学系统、Sensofar S Neox三维表面轮廓仪。
4：实验流程与操作步骤：
通过调节脉冲重叠率和扫描间距制备不同几何形态的图案。
5：数据分析方法：
采用共聚焦显微镜和白光干涉仪进行表面形貌测量。
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CPS532-C2 laser diode
CPS532-C2
Thorlabs Inc.
Integrated in the set-up as a coherent light source.
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NeoLase Nd:YAG laser
NeoLase
Used for structuring the stainless steel surface with DLIP.
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DLIP optics
Fraunhofer IWS
Used to overlap two individual laser beams at the stainless-steel surface.
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Sensofar S Neox 3D Surface Profiler
Sensofar
Used for surface topography measurements.
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