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[美国激光学会ICALEO? 2014：第33届国际激光材料加工、激光微加工与纳米制造大会 - 美国加利福尼亚州圣地亚哥（2014年10月19-23日）] 激光与电光应用国际大会 - 采用先进绿光及红外脉冲光纤激光器的ITO图形化技术

DOI：10.2351/1.5063022 出版年份：2014 更新时间：2025-09-16 10:30:52
摘要： 在块状基板上沉积的氧化铟锡（ITO）进行激光图案化，可实现一种无化学废料、高产量的工艺，该工艺广泛应用于平板和触摸屏显示设备中。为实现经济可行性并满足窄边框触摸传感器对高质量ITO图案化的需求，划线的宽度、均匀性和产量是关键质量参数。在本次报告中，我们介绍了波长为532纳米和1064纳米的脉冲纳秒光纤激光器在满足这些关键要求方面的进展，包括优化后的参数。具体而言，接近衍射极限的光束质量、高峰值功率能力、短脉冲和快速瞬态响应对于产生宽度约10微米且边缘光滑的一致划线是必要的。我们的研究结果表明，使用红外激光器作为稳健且具有成本效益的解决方案，在划线宽度介于15至25微米之间时具有优势。然而，绿色激光器光束更紧密聚焦的能力使其成为实现10微米宽度目标的首选方案。
作者： Kobi Lasri，Doron Sinai，Eran Inbar
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

研究采用先进的绿色和红外脉冲光纤激光器进行高质量ITO图案化，以满足对窄边框触摸传感器的高产量与高品质需求。

研究成果

研究表明，具有高峰值功率和频率特性、优异光束质量及快速开关特性的纳秒红外与绿光脉冲光纤激光器，可实现线宽低至10微米的高质量ITO图形化加工。其中红外激光器是加工15-25微米线宽的稳健且经济高效的解决方案，而要实现10微米线宽目标则优先选用绿光激光器。

研究不足

该研究聚焦于特定光纤激光器的应用，可能未涵盖所有可用于ITO图案化的激光类型或基底材料。关于大规模生产的可扩展性与成本效益问题未作深入探讨。

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