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基于非晶硅光子晶体腔镜的混合外腔激光器

DOI：10.3390/app10010240 期刊：Applied Sciences 出版年份：2019 更新时间：2025-09-16 10:30:52
摘要： 作者展示了一种混合外腔光子晶体激光器的性能结果，该激光器由半导体光放大器和在低温非晶硅中制造的二维光子晶体腔组成。作者证明了对非晶硅光子晶体腔谐振波长进行光刻控制是可行的，并且在非晶硅平台上可以实现光通信波长的单模激光发射。
作者： Simone Iadanza，Liam O’Faoláin，Chinna Devarapu，Alexandros Liles，Robert Sheehan
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

展示一种由半导体光放大器和二维光子晶体腔组成的混合外腔光子晶体激光器的性能，该光子晶体腔采用低温非晶硅制备，并证明对非晶硅光子晶体腔谐振波长具有光刻控制能力，以及在光通信波长处实现单模激光输出。

研究成果

该研究成功展示了低温非晶硅中结合半导体光放大器与二维光子晶体腔的混合外腔光子晶体激光器的运行。它实现了对谐振波长的光刻控制，并在通信波长下达成单模激射，不过需进一步优化以维持单模运行。

研究不足

由于腔体长度问题，该研究未能维持激光器的单模运行，通过将腔长缩减至毫米量级可缓解此问题。此外，制备工艺与材料特性可能限制其性能表现及与CMOS技术的集成度。

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