研究目的
开发适用于卫星激光测距的高性能单光子探测器,并验证使用氮化铌(NbN)构建大型超导纳米线单光子探测器(SNSPD)阵列的可行性。
研究成果
该研究成功研制出具有高探测效率和量子效率的16像素氮化铌超导纳米线单光子探测器(NbN SNSPD)阵列,适用于卫星激光测距。这证明了采用氮化铌材料制造大型SNSPD阵列的可行性,为高效光子相机的发展铺平了道路。未来工作可通过引入微透镜阵列来改善均匀性和填充因子,从而解决现有局限性。
研究不足
该研究在确保更大区域内纳米线良好均匀性方面面临挑战,这是由于电子邻近效应以及更大阵列中像素间填充因子可能降低,进而可能导致探测效率下降。
1:实验设计与方法选择:
本研究设计并制备了4×4阵列的氮化铌超导纳米线单光子探测器(NbN SNSPD),通过光束压缩技术实现与直径300微米多模光纤的光学耦合。该设计旨在最大化像素填充因子并最小化像素间死区。
2:样品选择与数据来源:
样品为硅基底上制备的氮化铌纳米线阵列,通过沉积氮化硅减反膜和谐振腔结构增强光子吸收。
3:实验设备与材料清单:
包括用于氮化硅沉积的Plasma80Plus设备、直流磁控溅射沉积氮化铌和金电极的设备、用于纳米线图案化的电子束光刻设备,以及用于纳米线成型的反应离子刻蚀设备。
4:实验流程与操作步骤:
包括优化氮化硅的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺、沉积氮化铌薄膜、制备金电极,以及通过电子束光刻和反应离子刻蚀制备纳米线。随后对器件进行封装并测试系统探测效率、时间抖动等性能指标。
5:数据分析方法:
使用高速示波器和数字计数器分析性能指标,基于光子计数和入射光子数计算系统探测效率和量子效率。
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