研究目的
讨论高分辨率AMOLED显示器中FMM材料及图案化工艺的技术难题与解决方案。
研究成果
该论文得出结论：通过采用薄因瓦箔和飞秒激光系统，已开发出超高清级精细金属掩模棒制造工艺。其关键技术包括掩模投影光学系统、配备静电卡盘的精密扫描平台以及无热损伤工艺。
研究不足
该论文提到了制造具有高平整度的薄因瓦合金箔材的挑战，以及激光照射薄因瓦合金箔材时产生的热损伤。
27.2: <i>特邀论文：</i> 面向AMOLED显示器的高分辨率FMM工艺
DOI：10.1002/sdtp.13467
期刊：SID Symposium Digest of Technical Papers
出版年份：2019
更新时间：2025-09-19 17:13:59
摘要：
精细金属掩模（FMM）是实现智能手机和虚拟现实（VR）高分辨率AMOLED显示屏的最大障碍之一。本文讨论了用于高分辨率FMM的各种材料和加工技术。
作者：
Chiwoo Kim，Kisoo Kim，Jong Kab Park，Doh Hoon Kim，Kiro Jung
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