研究目的
利用晶格失配、衬底对称性和晶体取向效应研究β-Ga2O3薄膜的日盲光电探测特性。
研究成果
与蓝宝石(Al2O3)衬底上的(2?01)取向β-Ga2O3薄膜相比，氧化镁(MgO)衬底上(100)取向的β-Ga2O3薄膜表现出更高的响应度、探测率和外量子效率，这归因于其面内各向异性和更优异的结晶质量。该研究为实现太阳盲区高性能光电探测器开辟了新途径。
研究不足
该研究聚焦于晶格失配和晶体取向对光响应特性的影响，但未探究其他潜在变量（如薄膜厚度或掺杂浓度）的作用。
1：实验设计与方法选择：
通过射频磁控溅射法在单晶MgO、MAO和α-Al2O3衬底上沉积外延β-Ga2O3薄膜。
2：样品选择与数据来源：
薄膜厚度约100纳米，通过光谱椭偏仪测定。
3：实验设备与材料清单：
高分辨率布鲁克D8 Advance X射线衍射仪、日立U-3900紫外-可见分光光度计、日立S-4800场发射扫描电子显微镜。
4：实验流程与操作步骤：
X射线测量、吸收光谱表征、表面形貌检测、金属-半导体-金属光电探测器构建。
5：数据分析方法：
响应度、探测率及外量子效率计算。
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