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采用快速扫描方法结合数字图像处理技术作为扫描电子显微镜的标准采集模式

DOI：10.1155/2020/4979431 期刊：Scanning 出版年份：2020 更新时间：2025-09-23 15:19:57
摘要： 本研究提出一种结合数字图像处理技术的高效快速扫描方法（如电视扫描），以替代传统慢扫描模式作为通用扫描电子显微镜（SEM）的标准采集方案。采用该方法获取的SEM图像在清晰度和噪声水平上与慢扫描图像质量相当，且能在全真空条件下抑制充电效应——这是该领域长期存在的难题。设计该方法需解决两个关键问题：一是基于电视扫描图像频率特性，通过逆滤波器实现图像质量的精准补偿；二是开发抗噪声的位置配准鲁棒性强的精确图像积分（降噪）技术，这涉及图像拼接技术的运用及所需积分图像数量的估算。最终将本TV扫描模式的结果与慢扫描图像及传统TV扫描图像进行了对比验证。
作者： Eisaku Oho，Kazuhiko Suzuki，Sadao Yamazaki
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

研究将快速扫描方法与数字图像处理技术相结合，作为扫描电子显微镜的标准采集模式以替代传统慢速扫描模式，旨在全真空条件下抑制充电效应的不利影响。

研究成果

研究表明，一种结合数字图像处理技术的快速扫描方法能有效替代扫描电镜中的传统慢速扫描模式，在保持锐度和噪声等画质指标相同的前提下，可抑制全真空环境下充电效应的不良影响。该方法采用逆滤波和精密图像积分技术，未来在扫描电镜成像领域具有应用前景。

研究不足

该研究承认，扫描电子显微镜（SEM）信号检测系统的频率特性尚未成熟，这可能会影响结果。此外，该方法可能需要在不同的图像采集条件下进行调整。

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