研究目的
提供一种通过常规光刻技术，利用光固化丙烯酸树脂与纳米有机色彩转换材料的混合物来制造全彩微LED显示器的解决方案。
研究成果
该研究表明，利用常规光刻技术结合光固化丙烯酸树脂和纳米有机色彩转换材料来制造全彩微LED显示器是可行的。尽管目前存在局限性，但这种方法为全彩微LED显示器的大规模生产提供了一种有前景的解决方案，并且在效率和材料合成方面有潜在改进空间。
研究不足
整体发光强度和色转换效率较低，红绿光发射的半高全宽较宽，不适用于全彩显示。该方法需改进微型蓝光LED的效率，并优化内量子效率、出光效率、电流扩展及散热性能。
1：实验设计与方法选择：
该研究通过蓝色微LED与色彩转换材料制备全彩微LED阵列，采用常规光刻技术沉积色彩转换层。
2：样本选择与数据来源：
使用蓝宝石衬底上生长的GaN基LED结构，包含n-GaN、MQW有源层和p-GaN等特定功能层。
3：实验设备与材料清单：
设备包括用于刻蚀的感应耦合等离子体（ICP）、用于电极沉积的电子束蒸发及用于旋涂光固化丙烯酸的装置；材料包含用于色彩转换的二萘嵌苯双酰亚胺染料。
4：实验流程与操作步骤：
依次进行p-GaN层刻蚀、透明电流扩展层ITO沉积，以及Cr/Au电极制备，色彩转换层通过光刻工艺沉积。
5：数据分析方法：
通过测量转换效率、光致发光（PL）光谱与电致发光（EL）光谱评估色彩转换层性能。
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获取完整内容-
Indium Tin Oxide (ITO)
Transparent current spreading layer
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Cr and Au layers
n- and p-pad electrodes
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SiO2 passivation layer
Coated on the wafer for array electrode fabrication
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Buffer Oxide Etchant (BOE)
Selectively etch the SiO2 layer
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Perylene bisimide dyes
Color-conversion layers for green and red emissions
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