研究目的
研究高温对3C-SiC/Si紫外（UV）光电探测器（PD）关键性能参数的影响，以适用于高温环境应用。
研究成果
3C-SiC紫外光电探测器在高达200°C的高温下展现出高灵敏度、快速响应和良好稳定性，适用于高温光子学应用。该器件在低工作电压下的优异性能及其具有成本效益的制备工艺是显著优势。
研究不足
该研究的局限性在于所使用的温度范围（最高200°C）和特定波长的紫外光（254 nm）。由于晶格散射导致的高温下性能下降也是一个限制因素。
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适用于高温环境的低功耗工作3C-SiC紫外光电探测器
DOI：10.1007/s11664-020-08097-8
期刊：Journal of Electronic Materials
出版年份：2020
更新时间：2025-09-23 15:21:01
摘要：
本研究系统考察了50°C至200°C不同工作温度下高温对3C-SiC/Si紫外光探测器（PD）关键性能参数（包括响应速度、灵敏度、稳定性及重复性）的影响。该器件在20V偏压下暴露于254nm紫外光时展现出极低暗电流（≈0.08pA），50°C时具有4466的高灵敏度以及0.34秒的快速上升时间和0.30秒的衰减时间。此外，该器件在0.5V低工作电压和200°C高温条件下仍保持优异性能，上升时间为2.68秒，衰减时间为1.44秒，同时维持良好的稳定性和重复性。200°C时性能的轻微下降（灵敏度从4466降至932）归因于高温下晶格散射增强导致载流子迁移率降低。值得注意的是，该器件采用极具成本效益的工艺流程制备。因此，本研究有助于开发适用于高温光子应用的低功耗、快速响应、高灵敏度且经济高效的3C-SiC紫外光探测器。
作者：
KASIF TEKER，HABEEB MOUSA
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