研究目的
为展示裂纹膜光刻技术（CFL）如何用于太阳能电池透明导电金属栅格的图案化，通过引入宏观非均匀性来平衡遮光效应、栅格电阻及透明导电氧化物电阻损耗，从而提升电池效率。
研究成果
通过引入宏观非均匀性，冷阴极荧光灯（CFL）可用于制造高性能透明导电金属网格用于太阳能电池。该方法在小面积铜铟镓硒（CIGS）电池中达到了优化基线网格的性能水平，实现了效率为19.3%的器件。模拟和计算表明，图案化的CFL网格可通过减少透明导电氧化物（TCO）损耗并实现更宽的单片结构，显著提高组件效率。
研究不足
该研究的局限性在于接近剥离失效条件时CFL工艺的可重复性，以及针对更大面积应用时网格设计仍需进一步优化。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用CFL图案化金属栅线制备小面积铜铟镓硒（CIGS）太阳能电池。通过系统减小裂纹模板厚度，使T/Rsh,grid/栅线间距的权衡关系向更高T值、更高Rsh,grid和更小栅线间距方向移动。
2：样品选择与数据来源：
电池制备于钠钙玻璃衬底上，结构包含钼背接触层、CIGS吸收层、硫化镉缓冲层及掺铝氧化锌透明导电氧化物（TCO）。
3：实验设备与材料清单：
设备包括用于钼背接触层的直流溅射系统、共蒸发法制备CIGS的装置、化学浴沉积硫化镉的设备、射频溅射制备氧化锌的装置以及电子束蒸发金属栅线的设备。材料包含用于裂纹模板的PMMA纳米颗粒悬浮液。
4：实验流程与操作步骤：
工艺流程包括在衬底上涂覆PMMA裂纹模板、干燥处理、金属沉积、剥离工艺及器件隔离。
5：数据分析方法：
通过J-V曲线测量评估性能，并通过模拟计算估算透明导电氧化物层与栅线的电阻。
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