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薄膜工艺——表面现象与技术层面的关联 || 用于铁电薄膜涂层制备及传感器、太阳能电池制造的改进旋涂法

DOI:10.5772/66815 出版年份:2017 更新时间:2025-09-23 15:21:21
摘要: 采用改进型旋涂机进行的旋涂工艺效果良好,尤其是转速可达18,000转/分钟的第二代改进型旋涂机,能够制备/涂覆需要高角速度(转/分钟)的光子晶体基铁电薄膜。使用3000和6000转/分钟的铁电薄膜在能隙、电导率等方面均表现优异。此外,该改进型旋涂机还衍生出多项应用,包括非侵入式血糖水平检测设备中的传感器、自动干燥系统中的传感器、机器人系统中的传感器,以及当前正在开发的太阳能电池/光伏板系统中的光伏电池。这些应用采用了钛酸锶钡(BST)、铌酸锂(LiNbO3)、氧化亚铜(CuO)和钽酸锂(LiTaO3)等铁电材料。
作者: Irzaman,Heriyanto Syafutra,Ridwan Siskandar,Aminullah,Husin Alatas
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研究概述 实验方案 设备清单

研究改进的旋涂法用于制备铁电薄膜并将其作为传感器和太阳能电池的涂层。

改进后的第一代和第二代旋涂机在铁电薄膜(包括BST、LiTaO3、LiNbO3和CuO)作为传感器和太阳能电池的应用中表现优异。这些薄膜已成功应用于各类器件,并有望在卫星技术等更复杂的领域发挥作用。

无刷电机在空载状态下仅能产生最低4000转/分钟和最高18000转/分钟的角速度。旋涂机的转速与转速表相比平均存在82.67转/分钟的差异。

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