研究目的
为通过降低石墨烯的温度增长来抑制绝缘层的损伤,从而进一步提高基于氧化石墨烯-半导体(GOS)的平面型电子源在纳米卫星中和器阴极上的电子发射效率。
研究成果
该研究通过将石墨烯生长温度降至800°C并在真空中对器件进行退火处理,成功将GOS器件的电子发射效率提升至23.6%。这一数值较先前效率有显著提升,证明了GOS器件作为纳米卫星高效中和器的潜力。未来工作将聚焦于通过扩大发射区域或创建发射位点阵列来增加发射电流。
研究不足
由于发射面积仅为50×50微米2,最大发射电流在14伏特下仍限制在2.3微安,这对于至少需要几毫安的纳米卫星中和器来说是不够的。有必要在保持高发射效率的同时,进一步扩大发射面积或制造大量小型发射位点阵列。
1:实验设计与方法选择:
该研究通过改进GOS器件的制备工艺来提高发射效率,采用比先前温度(1050°C)更低的化学气相沉积法(CVD,在800°C或900°C下进行),并对器件进行退火处理以降低石墨烯层的工作函数。
2:样本选择与数据来源:
制备的GOS器件发射区域为50×50微米2。
3:实验设备与材料清单:
制备过程包括通过热氧化生长SiO?层、CVD合成石墨烯、光刻技术蚀刻石墨烯,以及电子束真空蒸镀法沉积Ni/Ti电极。
4:实验步骤与操作流程:
器件在10??帕压力下使用热灯以300°C进行退火。通过施加n-Si与接触电极之间的栅极偏压(VG)来测量电子发射特性。
5:数据分析方法:
电子发射效率(η)通过电子发射电流(IA)与总电流(IC)的比值进行评估。
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