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用于可见光应用的氮化硅光子集成

DOI：10.1016/j.optlastec.2018.10.059 期刊：Optics & Laser Technology 出版年份：2019 更新时间：2025-09-23 15:21:21
摘要： 本文综述了可见光波段氮化硅光子集成电路（PIC）的制造平台及该领域的最新进展，这类电路主要应用于生物医学和化学传感领域。此外，我们还介绍了PIX4life——欧洲首个面向可见光应用的氮化硅PIC试点生产线。PIX4life为这类PIC的开发提供了统一框架，涵盖设计软件、制造工艺、特性测试及封装环节。
作者： Marco A.G. Porcel，Alberto Hinojosa，Hilde Jans，Andim Stassen，Jeroen Goyvaerts，Douwe Geuzebroek，Michael Geiselmann，Carlos Dominguez，I?igo Artundo
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研究概述

研究目的

回顾用于可见光波段的氮化硅光子集成电路（PICs）的制造平台及该领域的最新进展——这类电路主要应用于生物医学和化学传感领域，并介绍PIX4life项目——欧洲首个面向可见光应用的氮化硅PICs试点生产线。

研究成果

本综述论文阐述了用于构建光子波导和电路的氮化硅材料平台，重点聚焦可见光波段操作与生物光子学应用。文中评述了多家提供通用开放接入多项目晶圆（MPW）流片的代工厂，描述其工艺能力与技术特点。通过微型化、极低成本及低功耗特性（尤其强调折射率变化的测量），阐释了氮化硅的传感性能。汇总了氮化硅光子器件的最新研究成果，并评估各文献的关键性能指标。最后介绍了PIX4life项目——当前为氮化硅光子集成电路（PIC）提供原型与中试生产一站式解决方案的最大联合计划，同时阐述了该中试线四大主要示范应用。

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