研究目的
报道了一种采用硅微加工技术在220-330 GHz频段实现的旋转门结正交模转换器(OMT)，重点介绍设计考量、制造挑战及性能指标。
研究成果
硅微机械加工的旋转门正交模转换器在220-330 GHz频段展现出卓越性能，创下了该频段宽带正交模转换器的最佳指标记录。该研究强调了在设计阶段预见并补偿制造缺陷的重要性。
研究不足
该设备对几何变化的敏感性，以及由于制造缺陷（如芯片间错位）导致实现高射频性能的挑战。
1：实验设计与方法选择：
采用CST微波工作室设计OMT时，考虑了侧壁斜坡和欠蚀刻等制造缺陷。
2：样品选择与数据来源：
制备并表征了两个OMT原型。
3：实验设备与材料清单：
SOI晶圆、深反应离子刻蚀（DRIE）工具、用于金属化的金溅射工艺。
4：实验流程与操作步骤：
制备过程包括SOI晶圆的DRIE刻蚀、金属化处理及三芯片堆叠组装。
5：数据分析方法：
使用罗德与施瓦茨ZVA-24矢量网络分析仪配合ZC330频率扩展器进行射频特性测试。
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Rohde & Schwarz ZVA-24 VNA
ZVA-24
Rohde & Schwarz
Used for RF characterization of the OMT.
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ZC330 frequency extenders
ZC330
Rohde & Schwarz
Used with the VNA for extending the frequency range for measurements.
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SOI wafers
Used as the base material for the micromachined OMT.
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Applied Materials Centura Etch tool
Centura
Applied Materials
Used for deep silicon etching of the SOI wafers.
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SPTS Advanced Oxide Etch tool
Advanced Oxide Etch
SPTS
Used for oxide etching steps in the fabrication process.
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