研究目的
研究嵌入非晶氮化硅基体中的硅纳米晶体(Si-nc)的弹性和非弹性光散射,并通过光散射效应确定Si-nc的结构特征。
研究成果
研究得出结论:弹性散射(瑞利散射)通过峰展宽影响光致发光,而非弹性散射(拉曼散射)则导致PL峰位偏移。我们开发了一种基于Lennard-Jones势的新方法来估算硅纳米晶核与表面的键长。硅纳米晶的拉曼红移主要归因于表面效应,这很可能是由于纳米晶表面原子的配位数减少所致。
研究不足
Lennard-Jones势无法精确描述硅四面体结构的成对和三重势,这表明需要更精细的模型来描述Si纳米晶体的键长。
1:实验设计与方法选择:
本研究采用反射光谱结合光致发光(PL)和拉曼光谱探测散射光,并提出模型计算Si纳米晶核与界面的键长。
2:样本选择与数据来源:
通过低压化学气相沉积技术,使用硅烷与氨气混合气体在(111)氧化硅衬底上沉积含Si纳米晶的非晶氮化硅薄膜,薄膜化学计量比通过椭偏仪测定。
3:实验设备与材料清单:
研究使用常规退火炉、椭偏仪测定薄膜化学计量比,以及光谱工具分析光散射。
4:实验流程与操作步骤:
样品在氮气(N2)环境中以1050°C退火1小时,Si纳米晶尺寸分布通过拉曼分布计算得出。
5:数据分析方法:
测量394至686纳米可见光范围的反射光谱,拉曼位移后对PL峰位进行理论与实验对比。
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