研究目的
回顾压电声学成像（PAI）中微机电系统（MEMS）技术的当前进展，并总结扫描镜与探测器在MEMS领域的最新研究动态。
研究成果
微机电系统（MEMS）技术通过提升成像速度、分辨率和系统紧凑性，为光声成像（PAI）的发展做出了重要贡献。然而，在微型化和制造工艺方面仍存在挑战，这限制了其更广泛的临床应用。
研究不足
该综述强调，为临床应用需进一步优化，包括缩小内窥镜应用中可浸水MEMS扫描镜的尺寸，以及简化MEMS探测器的制造工艺以降低成本并提高可靠性。
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微机电系统（MEMS）技术增强光声成像的最新进展
DOI：10.3390/mi9110584
期刊：Micromachines
出版年份：2018
更新时间：2025-09-10 09:29:36
摘要：
光声成像（PAI）是一种备受瞩目的新型生物医学成像技术，通过混合对比机制为生物组织提供优异的空间分辨率。该技术凭借无创获取活体解剖与功能信息的优势，在临床前和临床应用中得到广泛研究。近年来，微机电系统（MEMS）技术（特别是执行器与传感器）助力提升PAI系统性能，进一步拓展了研究领域。本综述介绍了光声成像领域的前沿MEMS技术，并总结了MEMS扫描镜与探测器的最新进展。
作者：
Changho Lee，Jin Young Kim，Chulhong Kim
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