研究目的
利用基于原子力显微镜（AFM）的近场扫描显微镜（NSOM）对高介电常数材料进行表征。
研究成果
基于原子力显微镜的近场光学显微镜是一种高空间分辨率、高精度测量高介电常数材料介电常数的有效工具。该技术可应用于多种材料，包括钛酸钡、钛酸锶和锆钛酸铅。
研究不足
该技术受限于原子力显微镜的空间分辨率和微波探测器的灵敏度。介电常数测量的准确性可能受到样品表面粗糙度和针尖-样品相互作用的影响。
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[IEEE 2018精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 法国巴黎（2018年7月8日-2018年7月13日）] 2018年精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 扫描微波显微镜的计量挑战
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DOI：10.1109/CPEM.2018.8500989
出版年份：2018
更新时间：2025-09-10 09:29:36
摘要：
我们展示了一种基于原子力显微镜(AFM)的近场扫描显微技术(NSOM)，用于表征高介电常数材料。该NSOM通过近场微波显微镜测量高介电常数材料的介电常数，其核心是一个带有尖锐探针的悬臂，用于扫描样品表面。微波信号被施加到探针上，反射信号由微波探测器检测。通过分析反射信号的相位移来确定样品的介电常数。这种NSOM能以高空间分辨率测量材料的介电常数，已成功用于测量BaTiO3、SrTiO3和Pb(Zr,Ti)O3等高介电常数材料的介电性能，实现了高精度和高空间分辨率的测量。
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