研究目的
提出一种利用原子力显微镜结合电容校正的方法，在纳米尺度上精确测量铁电薄膜的剩余极化电荷，以从噪声中提取信号。
研究成果
纳米PUND方法成功测量了铁电薄膜在纳米尺度上的剩余极化电荷，在PZT薄膜上测得的电荷量为4.2飞库仑。通过实施电阻校正和减少杂散电容，该方法可以进一步改进。
研究不足
该方法的有效性受噪声水平限制，噪声可能会掩盖信号。建议通过电阻校正和降低原子力显微镜系统的总电容等措施来提高该方法的准确性。
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[2018年IEEE精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 法国巴黎（2018年7月8日-7月13日）] 2018年精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 铁电薄膜中残余极化电荷的纳米级精确测量
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[2018年IEEE精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 法国巴黎（2018年7月8日-7月13日）] 2018年精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 铁电薄膜中残余极化电荷的纳米级精确测量
DOI：10.1109/CPEM.2018.8501159
出版年份：2018
更新时间：2025-09-10 09:29:36
摘要：
提出了一种在纳米尺度下测量铁电薄膜剩余极化电荷的方法。该方法基于原子力显微镜的电流测量，并引入电容校正以从噪声中提取信号——该噪声比待测信号高出数个数量级。在PbZrTiO3薄膜上成功测得4.2飞库仑的剩余电荷，并提出了降低噪声的解决方案。
作者：
Simon Martin，Nicolas Baboux，David Albertini，Brice Gautier
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