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24.1: <i>特邀论文：</i> 用于可弯曲和柔性显示器的柔性氧化物薄膜晶体管

DOI：10.1002/sdtp.12693 期刊：SID Symposium Digest of Technical Papers 出版年份：2018 更新时间：2025-09-10 09:29:36
摘要： 本次演讲中，我们将介绍一种在塑料基板上采用分离式有源层与源漏电极结构的高稳定性、高性能E/S型a-IGZO薄膜晶体管。该晶体管展现出74 cm2/Vs的高迁移率，并在偏压应力和机械应力下表现出极佳的稳定性。其制备工艺与常规工艺完全相同，仅需调整设计即可实现。因此，该技术可用于塑料基板上柔性及可弯曲AMOLED器件的制造。
作者： Jin Jang，Suhui Lee
AI智能分析
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

研究用于柔性及可弯曲AMOLED显示器的塑料基板上高度稳定、高性能的E/S a-IGZO TFT。

研究成果

分裂E/S a-IGZO TFT器件展现出优异的电学性能、偏压稳定性和机械稳定性，适用于高分辨率柔性AMOLED显示。通过F等离子体进行E/S图案化时形成的金属-F键对顶界面进行改进，并随之降低界面态密度，这些因素共同促成了上述性能表现。

研究不足

本研究仅限于评估PI衬底上的a-IGZO TFTs，未探索其他材料或衬底?；滴榷ㄐ圆馐栽谔囟ㄌ跫陆校ò刖禦=2毫米，应变=0.7%）。

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