修车大队一品楼qm论坛51一品茶楼论坛,栖凤楼品茶全国楼凤app软件 ,栖凤阁全国论坛入口,广州百花丛bhc论坛杭州百花坊妃子阁

氧化诱导的ALD-Al2O3/InAs(100)界面变化及其在器件加工中的控制

DOI：10.1021/acsami.8b17843 期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 出版年份：2018 更新时间：2025-09-10 09:29:36
摘要： InAs晶体是射频晶体管和红外传感器等多种器件的新兴材料?？刂蒲趸盏急浠约跎儆泻Φ腎nAs表面（或界面）缺陷至关重要，因为在器件加工过程中难以避免InAs表面部分发生能量上有利的氧化。我们采用同步辐射硬X射线光电子能谱（HAXPES）、低能电子衍射、扫描隧道显微镜和时间飞行弹性反冲检测分析技术，对经过不同预氧化处理的原子层沉积（ALD）生长的Al2O3/InAs界面进行了表征。研究阐明了良好嵌入的InAs界面（12 nm Al2O3）的化学环境和芯能级偏移，尤其避免了真空-固体界面显著电位变化的影响。高分辨率As 3d光谱显示，ALD前经溅射清洁的Al2O3/InAs界面存在+1.0 eV偏移，而预氧化（3×1）-O界面的As 3d则呈现-0.51 eV偏移。测量结果还表明，As2O3型结构对控制缺陷密度并非关键因素。关于In 4d测量，溅射后的InAs界面仅存在+0.29 eV偏移，而晶态氧化界面特有的In 4d偏移约为-0.3 eV。因此，通常与悬键相关的负偏移并不一定如先前预期那样指示此类点缺陷。相反，负偏移可能源于与氧原子的键合。因此，在光电子研究中确定体组分位置时应特别谨慎。最后，我们提出了一种将InAs氧化结果应用于富砷III-V表面和铟沉积的高电子迁移率晶体管（HEMT）器件工艺的方法。该方法可在不损失栅极可控性的情况下降低HEMT的栅极漏电流。
作者： Marjukka Tuominen，Jaakko M. M?kel?，Muhammad Yasir，Johnny Dahl，Sari Granroth，Juha-Pekka Lehti?，Roberto Félix，Pekka J. Laukkanen，Mikhail V. Kuzmin，Mikko Laitinen，Marko P.J. Punkkinen，Hannu-Pekka Hedman，Risto Punkkinen，Ville V. Poloj?rvi，Jari Lyytik?inen，Antti Tukiainen，Mircea D. Guina，Kalevi Kokko
AI智能分析
纠错
研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

控制氧化诱导的变化对于减少有害的InAs表面（或界面）缺陷至关重要，因为在器件加工过程中很难避免InAs表面部分发生能量上有利的氧化。

研究成果

与InAs体晶体相比，预氧化的晶态InAs界面层显示出明显的负结合能位移，这可初步归因于氧离子诱导的库仑势变化。因此，负核心能级位移的存在未必是有害点缺陷的标志，但令人惊讶的是，它可能是III-V族化合物氧化的迹象。研究发现，将InAs氧化结果应用于采用富砷III-V表面和铟沉积的高电子迁移率晶体管（HEMT）器件工艺中，可在不损失栅极可控性的情况下降低HEMT的栅极漏电流。

研究不足

该研究聚焦于Al2O3/InAs界面，在未经进一步研究的情况下可能不直接适用于其他III-V族半导体界面。

SCI高频之选
查看全部>
  • AQ6370D
    AQ6370D
    463

    型号：AQ6370D

    厂家：Yokogawa

    智能分析： Yokogawa AQ6370D是一款性能卓越的光谱分析仪，适用于光通信领域以及光放大器（EDFA）的测量和评估。其高波长分辨率、精准度和宽动态范围使其成为实验室和工业环境中的理想选择。虽然设备体积较大且预热时间较长，但其丰富的接口和出色的显示屏设计弥补了这些不足，整体是一款值得推荐的光谱分析仪。
    获取实验方案
  • ZEISS EVO Family

    型号：ZEISS EVO Family

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS EVO系列是一款高性能模块化扫描电子显微镜，适用于材料科学、生命科学及工业质量控制等领域。其先进的技术特性包括高分辨率、广泛加速电压范围和集成EDS系统。该产品操作直观，支持多用户环境，适合科学研究和工业应用。然而，价格信息缺失以及潜在的维护成本可能是其需要注意的方面。总体而言，ZEISS EVO系列表现优秀，值得推荐给专业用户。
    获取实验方案
  • Crossbeam Family

    型号：Crossbeam Family350/550

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS Crossbeam系列是蔡司公司推出的一款高端光电分析设备，结合了场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）和聚焦离子束（FIB）的功能，适用于材料科学、纳米技术和半导体行业等多个领域。其高分辨率成像能力和自动化样品制备功能使其成为高通量分析的理想选择。此外，该设备支持多种检测器，具备强大的多功能性，是高精度研究和工业应用的利器。然而，由于其高端定位，设备成本较高且操作需要专业技能。总体而言，该设备表现卓越，为科学研究和工业应用提供了先进的解决方案。
    获取实验方案
  • Axio Observer

    型号：Axio Observer

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： Axio Observer是一款专为金相学研究设计的倒置显微镜系统，以其高效的设计和蔡司知名的光学技术为特色。它能够快速、灵活地分析大量样品，并支持自动化操作，适用于多种应用场景，包括晶粒尺寸分析、非金属夹杂物检测等。然而，其重量较大且光源寿命较短，可能对使用者提出了额外的维护和空间管理需求。总体而言，这款产品在性能和可靠性方面表现出色，特别适合专业实验室使用。
    获取实验方案
  • ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex

    型号：ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex是一款定位于高端科研机构的光谱成像系统，具有卓越的光谱分辨率和自动化功能，适用于复杂的生物、医学及材料科学实验。其高效的荧光标签分离能力和多功能自动化设计为用户提供了强大的实验支持。然而，高昂的价格和一定的学习曲线可能对中小型实验室构成挑战。总体而言，这是一款性能优越、适应性强的高端实验设备。
    获取实验方案
  • ZEISS Sigma 300 with RISE

    型号：ZEISS Sigma 300 with RISE

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS Sigma 300 with RISE是蔡司公司推出的一款高端光谱分析仪，集成了拉曼成像和扫描电子显微镜技术，能够提供高质量的化学和结构分析。其功能强大，支持多领域应用，但设备价格较高且操作学习曲线可能较陡。适用于科研机构和高端实验室，是材料科学和生命科学领域的理想选择。
    获取实验方案
立即咨询

加载中....

论文纠错

您正在对论文“氧化诱导的ALD-Al2O3/InAs(100)界面变化及其在器件加工中的控制”进行纠错

纠错内容

联系方式（选填）

设备询价

称呼

电话

+86

单位名称

用途

期望交货周期

产品预约

称呼

电话

+86

单位名称

用途

期望交货周期