研究目的
展示具有特定接触图案方案的高灵敏度G/Si光电二极管,该方案涉及叉指式肖特基与石墨烯/绝缘体/硅(GIS)结构,实现高外量子效率(EQE)和响应度。
研究成果
G/Si光电二极管采用交错式设计,显著提升了光电流的产生与收集效率,实现了最高98%的外量子效率和635 mA/W的响应度。该研究提出了G/Si光电二极管中"真实"有效面积的定义,为这类器件的标准化提供了依据。
研究不足
该研究承认由于石墨烯转移和界面质量问题导致的肖特基势垒高度存在差异性。器件的性能可能受到化学掺杂稳定性和界面氧化层存在的影响。
1:实验设计与方法选择:
研究涉及设计与制造具有叉指肖特基和GIS区域的G/Si光电二极管,以增强光电流的产生与收集。
2:样本选择与数据来源:
使用带有20纳米SiO2层的轻掺杂n型硅衬底。大面积CVD石墨烯被转移至预图案化的衬底上。
3:实验设备与材料清单:
设备包括Keithley半导体分析仪(SCS4200)、用于扫描光电流测量的Witec Alpha300 R共聚焦显微镜,以及用于光谱响应测量的钨卤素灯。材料包括磷掺杂硅晶圆、CVD石墨烯及用于金属电极的铬/镍。
4:0)、用于扫描光电流测量的Witec Alpha300 R共聚焦显微镜,以及用于光谱响应测量的钨卤素灯。材料包括磷掺杂硅晶圆、CVD石墨烯及用于金属电极的铬/镍。
实验步骤与操作流程:
4. 实验步骤与操作流程:制备过程包括光刻、热氧化、石墨烯转移及器件封装。电学与光学特性在环境条件下进行表征。
5:数据分析方法:
从测得的光电流计算光谱响应与外量子效率。通过数值模拟理解物理机制。
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