研究目的
讨论射频微机电系统（RF MEMS）开关在微波与射频器件中的工作原理、技术对比、局限性及应用。
研究成果
射频微机电系统（RF MEMS）开关在带宽、隔离度、损耗、线性度和功耗方面相比传统开关器件具有显著优势。尽管存在一些局限性，但持续的研究与开发正在解决这些挑战，使MEMS开关成为未来射频和微波应用中极具前景的技术。
研究不足
射频微机电系统（RF MEMS）开关的主要局限性包括介质充电、机械强度以及功率处理能力。目前这些挑战正被积极研究，以提高MEMS开关的可靠性和性能。
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材料科学与工程参考?？?|| 射频微机电系统
DOI：10.1016/b978-0-12-803581-8.00562-2
出版年份：2016
更新时间：2025-09-09 09:28:46
摘要：
射频微机电系统（RF MEMS）开关正迅速受到微波工程师的青睐，目前已应用于天线、滤波器、移相器、振荡器、多路复用器等传统射频器件中。与传统开关器件相比，它们因具有更宽的带宽、更好的隔离度、高频下更低的损耗、更优的线性度以及更低的功耗而广受欢迎。
作者：
T Singh，N Kingsley，J Papapolymerou
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