研究目的
研究氧化镓欧姆接触的形成与优化，以实现器件制造与商业化。
研究成果
该研究得出结论：尽管制备与Ga2O3具有低接触电阻率的欧姆接触相对容易，但仍需进一步研究以获得可靠的接触。研究强调需要通过控制实验系统地比较不同金属化方案，并探究各种因素对接触性能的影响。
研究不足
该研究指出，目前缺乏关于长期接触可靠性的研究，并强调需要进一步开展量化分析，以明确清洁预处理、注入元素、晶体各向异性及相态等因素对欧姆接触性能的影响。
中文（中国）
▾
氧化镓 || 氧化镓的欧姆接触
DOI：10.1016/B978-0-12-814521-0.00010-5
出版年份：2019
更新时间：2025-09-09 09:28:46
摘要：
在半导体表面沉积金属以形成低接触电阻、高可靠性的电接触，同时确保金属化过程不对器件造成不利影响，这是器件制造中最关键的挑战之一。因此，深入理解接触机制对器件的成功制造与商业化至关重要。载流子穿越金属-半导体结的物理特性决定了金属接触呈现整流性（即肖特基接触）或非整流性。当电流-电压关系具有低界面接触电阻Rc且呈理想线性时，这种非整流接触被称为欧姆接触。过去针对每类半导体材料，实现低接触电阻Rc（Ω·mm）或接触电阻率ρc（Ω·cm2）都需大量研究。通常欧姆接触的成功制备依赖三个核心要素：高掺杂或简并半导体、金属化材料选择及热退火工艺。以硅为例，早期研究多聚焦扩散工艺，但离子注入的可控性与重复性最终使其成为行业标准。对于基于GaAs或GaN的化合物半导体异质结构器件，二维电子气（2DEG）的存在要求采用多层金属化沉积与退火方案，其工艺细节历经多年优化。特别在III族氮化物高电子迁移率晶体管（HEMTs）中，由于位错密度高导致退火时通过缺陷辅助形成金属-氮化物合金而降低势垒高度，异质外延GaN上较易形成欧姆接触。然而随着GaN晶体生长技术突破，同质外延GaN的位错密度降低数个数量级，在相同工艺条件下获得的接触电阻自然更高[1]。为此，提供n+掺杂GaN的再生长技术已成为常规手段。
作者：
Marko J. Tadjer
AI智能分析
纠错
研究概述
实验方案
设备清单
SCI高频之选
查看全部>
-
智能分析： Yokogawa AQ6370D是一款性能卓越的光谱分析仪，适用于光通信领域以及光放大器（EDFA）的测量和评估。其高波长分辨率、精准度和宽动态范围使其成为实验室和工业环境中的理想选择。虽然设备体积较大且预热时间较长，但其丰富的接口和出色的显示屏设计弥补了这些不足，整体是一款值得推荐的光谱分析仪。获取实验方案
-
智能分析： ZEISS EVO系列是一款高性能?？榛璧缱酉晕⒕担视糜诓牧峡蒲?、生命科学及工业质量控制等领域。其先进的技术特性包括高分辨率、广泛加速电压范围和集成EDS系统。该产品操作直观，支持多用户环境，适合科学研究和工业应用。然而，价格信息缺失以及潜在的维护成本可能是其需要注意的方面。总体而言，ZEISS EVO系列表现优秀，值得推荐给专业用户。获取实验方案 -
智能分析： ZEISS Crossbeam系列是蔡司公司推出的一款高端光电分析设备，结合了场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）和聚焦离子束（FIB）的功能，适用于材料科学、纳米技术和半导体行业等多个领域。其高分辨率成像能力和自动化样品制备功能使其成为高通量分析的理想选择。此外，该设备支持多种检测器，具备强大的多功能性，是高精度研究和工业应用的利器。然而，由于其高端定位，设备成本较高且操作需要专业技能。总体而言，该设备表现卓越，为科学研究和工业应用提供了先进的解决方案。获取实验方案 -
智能分析： Axio Observer是一款专为金相学研究设计的倒置显微镜系统，以其高效的设计和蔡司知名的光学技术为特色。它能够快速、灵活地分析大量样品，并支持自动化操作，适用于多种应用场景，包括晶粒尺寸分析、非金属夹杂物检测等。然而，其重量较大且光源寿命较短，可能对使用者提出了额外的维护和空间管理需求。总体而言，这款产品在性能和可靠性方面表现出色，特别适合专业实验室使用。获取实验方案 -
型号：ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex
智能分析： ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex是一款定位于高端科研机构的光谱成像系统，具有卓越的光谱分辨率和自动化功能，适用于复杂的生物、医学及材料科学实验。其高效的荧光标签分离能力和多功能自动化设计为用户提供了强大的实验支持。然而，高昂的价格和一定的学习曲线可能对中小型实验室构成挑战。总体而言，这是一款性能优越、适应性强的高端实验设备。获取实验方案 -
智能分析： ZEISS Sigma 300 with RISE是蔡司公司推出的一款高端光谱分析仪，集成了拉曼成像和扫描电子显微镜技术，能够提供高质量的化学和结构分析。其功能强大，支持多领域应用，但设备价格较高且操作学习曲线可能较陡。适用于科研机构和高端实验室，是材料科学和生命科学领域的理想选择。获取实验方案
立即咨询
加载中....
论文纠错
您正在对论文“氧化镓 || 氧化镓的欧姆接触”进行纠错
纠错内容
联系方式（选填）
设备询价
称呼
电话
+86
单位名称
用途
期望交货周期
产品预约
称呼
电话
+86
单位名称
用途
期望交货周期