研究目的
研究采用化学喷雾热解技术沉积的氧化锌薄膜在不同前驱体浓度下的结构和光学特性。
研究成果
采用化学喷雾热解技术沉积的氧化锌薄膜呈现多晶特性，具有六方结构和c轴取向。该薄膜在可见光区域表现出高透射率，直接带隙范围为2.9至3.2电子伏特。室温下的光致发光光谱显示在495纳米附近存在强烈的蓝光发射带。
研究不足
本研究仅限于采用化学喷雾热解技术制备的氧化锌薄膜的结构和光学特性。未探讨其他沉积参数及其优化的影响。
1：实验设计与方法选择：
采用化学喷雾热解技术在显微镜用玻璃基底上沉积氧化锌薄膜，前驱体浓度分别为0.1、0.15、0.2和0.3 M。通过XRD、紫外-可见光谱和光致发光分析对薄膜进行结构和光学表征。
2：2和3 M。通过XRD、紫外-可见光谱和光致发光分析对薄膜进行结构和光学表征。 样品选择与数据来源：
2. 样品选择与数据来源：使用厚度1.35 mm的显微镜用玻璃基底。配制乙酸锌二水合物溶液，溶剂为去离子水与异丙醇按1:3体积比混合。
3：35 mm的显微镜用玻璃基底。配制乙酸锌二水合物溶液，溶剂为去离子水与异丙醇按
3. 实验设备与材料清单：XPERT-PRO X射线衍射仪、岛津SHIMADZU-1800双光束分光光度计、瓦里安VARAIN CARRY ECLIPSE分光光度计、触针式轮廓仪。
4：实验设备与材料清单：
4. 实验流程与操作规范：在380°C恒温条件下沉积薄膜，溶液流速控制在4±0.5 ml/min。以压缩空气为载气，压力为0.7 Kg/cm2。
5：实验流程与操作规范：
5. 数据分析方法：采用XRD分析薄膜结构，在室温下进行光学透射光谱测量，使用氙灯记录光致发光光谱。
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SHIMADZU - 1800 Double beam Spectrophotometer
1800
SHIMADZU
Optical transmission spectroscopic measurements
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XPERT-PRO’ X-Ray diffractometer
Examining the structure of the films
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VARAIN CARRY ECLIPSE Spectrophotometer
ECLIPSE
VARAIN CARRY
Recording photoluminescence spectra
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stylus profilometer
Determining the thickness of the films
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