研究目的
研究通过金属有机气相外延法在a面(11 0)蓝宝石衬底上生长的GaN(0001)异质外延层的结构特性，并理解这些特性的各向异性。
研究成果
GaN层结构特性的各向异性与热弹性层变形无关，而是由层-衬底平面中的取向关系决定。研究认为，这种结构各向异性与GaN(0001)/Al2O3(110)外延生长机制相关，甚至在高温度下层生长过程中就已产生。
研究不足
本研究仅限于通过金属有机气相外延法（MOVPE）在a面蓝宝石衬底上生长的GaN层的分析。该层结构特性的各向异性与弹性应力之间的关系尚不明确。
型号：ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex
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