研究目的
基于绝缘体上硅平台的高均匀性宽带Y分支光学分束器的设计与性能研究。
研究成果
所提出的具有多模锥形分支的Y型分束器展现出宽带宽和高功率均匀性，适用于需要这些特性的光子集成电路。与传统模型相比，该设计对制造精度的要求较低。
研究不足
实验测得的插入损耗高于仿真结果，可能是由于波导壁粗糙和尖端不完美导致的辐射损耗。该研究聚焦于O波段应用，限制了其对其他波长的普适性。
1：实验设计与方法选择：
本研究设计了一种带有多模锥形分支的Y型分束器，以提高带宽和功率均匀性。采用理论分析和FDTD仿真方法。
2：样本选择与数据来源：
研究使用均匀分支、S型分支和锥形分支模型进行对比。数据通过仿真和实验制备获取。
3：实验设备与材料清单：
电子束光刻（EBL）加工技术、SOI平台、Keysight 81608A可调光源、Keysight N7744A光功率计。
4：实验流程与操作步骤：
制备过程包括涂覆电子束光刻胶、电子束曝光、刻蚀及沉积SiO2包层。测试环节测量插入损耗和回波损耗。
5：数据分析方法：
计算并比较不同模型的插入损耗和回波损耗。通过移动尖端模拟工艺误差来分析功率均匀性。
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