研究目的
分析和比较两种在常压等离子体系统中通过傅里叶变换红外光谱(FTIR)提高空间分辨率的方法:减小光束直径和使用聚焦光学元件。
研究成果
对于足够低的等离子体背景红外辐射水平,聚焦光学法相比直径缩减法能提高信噪比。然而,直径缩减法受高背景等离子体红外辐射的影响较小,且其空间分辨率仅受限于允许的最低信噪比。方法的选择取决于测量的具体要求及等离子体系统的特性。
研究不足
聚焦光学方法实现亚毫米空间分辨率的能力取决于光谱仪中红外光源的辐射区域。直径缩减法的空间分辨率受限于允许的最低信噪比。这两种方法都会受到等离子体背景红外辐射的影响。
1:实验设计与方法选择:
本研究比较了两种提高傅里叶变换红外光谱空间分辨率的方法——光阑缩径法和聚焦光学法。光阑缩径法通过光学光阑减小光束直径,而聚焦光学法则利用透镜或反射镜将光束成像到样品上。
2:样品选择与数据来源:
实验在充氮的50厘米宽真空腔室中进行,使用等离子体样品。同时获取无等离子体的背景光谱作为对比。
3:实验设备与材料清单:
采用外光路模式的JASCO FT/IR 6800光谱仪、蓝宝石窗片、MCT探测器、用于缩径的光阑以及焦距51.7厘米的金质离轴抛物面镜(用于聚焦光学法)。
4:7厘米的金质离轴抛物面镜(用于聚焦光学法)。
实验流程与操作步骤:
4. 实验流程与操作步骤:缩径法通过光阑减小光束横截面积;聚焦光学法利用抛物面镜将光束成像至样品。分别分析并比较两种方法的信噪比。
5:数据分析方法:
计算各方法的信噪比(考虑样品的背景红外辐射),并评估每种方法可实现的空间分辨率。
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