研究目的
采用喷雾热解法沉积的铌酸锂薄膜物理性质研究。
研究成果
采用喷雾热解法成功制备了LiNbO3纳米结构，其质量良好且随着退火温度升高至500°C时形貌得到改善。结构特性表明该材料具有多晶性质，在(012)衍射面呈现中等强度衍射峰。原子力显微镜结果显示其具有高平滑度与均匀分布，表面粗糙度较低。所制备晶体的晶粒尺寸随退火温度升高而减小。
研究不足
本研究仅限于通过喷雾热解法制备的铌酸锂薄膜的物理性质，未探讨其他沉积方法或材料的影响。
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《AIP会议论文集》[作者 2018年第四届电子与绿色材料国际会议（EGM 2018）——印度尼西亚万?。?018年7月27-28日）] - 喷雾热解技术沉积纳米及微米级铌酸锂的物理特性研究
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《AIP会议论文集》[作者 2018年第四届电子与绿色材料国际会议（EGM 2018）——印度尼西亚万隆（2018年7月27-28日）] - 喷雾热解技术沉积纳米及微米级铌酸锂的物理特性研究
DOI：10.1063/1.5080828
出版年份：2018
更新时间：2025-09-04 15:30:14
摘要：
本文采用喷雾热解法沉积了铌酸锂薄膜，并对制备样品的物理性质进行了进一步研究。该喷雾热解沉积过程以石英为衬底，使用新型前驱体化合物作为原料。沉积过程中设置了多组退火温度以调控制备样品的物理特性变化。此外，还通过场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）、原子力显微镜（AFM）及薄膜厚度测量对样品的结构特性进行了表征。
作者：
Makram A. Fakhri，Najwan H. Numan，Zahraa S. Alshakhli，Marwa A. Dawood，Ahmed W. Abdulwahhab，Farah G. Khalid，U. Hashim，Evan T. Salim
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