研究目的
研究基于低损耗石蜡相变材料（PCM）的毫米波频段应用真时延、连续可调移相器的设计与优化。
研究成果
该研究成功设计并优化了一款采用石蜡相变材料的W波段真时延移相器，在实现360°相移时获得了71.8°/dB的优值系数和5 dB的最大插入损耗。多物理场仿真验证了设计方案的可行性，并开发了一种新型石蜡薄膜沉积制备工艺。
研究不足
该研究的局限性在于石蜡相变材料（PCM）的制造工艺及其物理特性，包括体积变化和驱动时间。需要进一步优化并进行实验验证。
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[工程技术学会第十二届欧洲天线与传播会议（EuCAP 2018）- 英国伦敦（2018年4月9-13日）] 第十二届欧洲天线与传播会议（EuCAP 2018）- 采用石蜡微执行器的W波段真时延移相器
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[工程技术学会第十二届欧洲天线与传播会议（EuCAP 2018）- 英国伦敦（2018年4月9-13日）] 第十二届欧洲天线与传播会议（EuCAP 2018）- 采用石蜡微执行器的W波段真时延移相器
DOI：10.1049/cp.2018.0522
出版年份：2018
更新时间：2025-09-04 15:30:14
摘要：
我们报道了一种基于新型电热驱动射频微机电系统（RF MEMS）器件的分布式加载线移相器，该器件采用石蜡相变材料（PCM）。石蜡是一种低损耗（损耗角正切tan δ = 6.6×10?4）的机械相变材料，在固液相变过程中体积变化率达15%。凭借其独特的电学与机械特性，石蜡相变材料可变电容器具有极低损耗，这对可重构结构设计至关重要。本研究设计并优化了一款基于低损耗石蜡相变材料的真时延、连续可调移相器，在回波损耗超过12分贝的同时实现了71.8°/dB的品质因数。该移相器在实现360°相移时最大插入损耗仅为5分贝。通过全耦合多物理场仿真研究了石蜡相变器件电-热-机性能，采用2.6微米厚石蜡薄膜获得0.8微米最大位移。我们开发了薄层石蜡薄膜沉积新工艺，并提出了完整器件制造流程。
作者：
Behnam Ghassemiparvin，Nima Ghalichechian
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