研究目的
开发一种集原子层沉积（ALD）与原子力显微镜（AFM）于一体的双腔系统，用于连续监测纳米颗粒至薄膜生长过程。
研究成果
集成原子力显微镜/原子层沉积系统是监测薄膜制备与表征的有力工具。它能在受控环境下连续监测薄膜生长过程，从初始纳米颗粒成核到连续薄膜形成。
研究不足
该系统仅限于在受控环境下监测薄膜生长和表面形貌变化。某些实验需要高温处理和受控气体环境。
1：实验设计与方法选择：
该系统由两个主要腔室组成：原子层沉积（ALD）反应腔和原子力显微镜（AFM）测试腔。ALD反应腔用于样品制备，AFM测试腔用于表面形貌测量。通过磁力传输杆可在不破坏真空的条件下实现样品在ALD腔与AFM测试腔之间的转移。
2：样品选择与数据来源：
以铂（Pt）纳米颗粒/薄膜作为ALD生长目标材料进行验证。
3：实验设备与材料清单：
系统包含ALD反应腔、AFM测试腔、磁力传输杆以及带精确定位销孔的样品台。
4：实验流程与操作步骤：
样品在ALD腔内制备后转移至AFM测试腔进行表面形貌测量，沉积过程中持续监测表面形貌变化。
5：数据分析方法：
通过计算表面粗糙度、颗粒密度及孔隙率来评估薄膜生长行为。
独家科研数据包，助您复现前沿成果，加速创新突破
获取完整内容-
Agilent 5500 AFM scanner
5500
Agilent
Used for surface morphology measurement in the AFM test chamber.
-
Thermal Fisher N500 FTIR instrument
N500
Thermal Fisher
Used for FTIR characterization of fabricated catalysts under a controlled environment.
-
Nanosensors PPP-NCHR tips
PPP-NCHR
Nanosensors
Silicon nitride AFM tips used for surface morphology test.
-
登录查看剩余1件设备及参数对照表
查看全部
