研究目的
描述一种基于光刻和微芯片堆叠技术进步的等离子体光谱仪设计，适用于太空和等离子体边缘应用。
研究成果
测试证明了制造微尺度离子能量谱仪所需结构的可行性。该设计适用于等离子体处理系统中的非扰动式插入，并能直接、角度分辨且瞬时地测量离子能量谱。
研究不足
最初的准直器设计有一个锥度，使得有效透明度降低到约20%，而能量分析仪的极板由于DRIE加工过程中的底切效应比预期的更厚。
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一种适用于空间和等离子体边缘应用的微型等离子体光谱仪（特邀）
DOI：10.1063/1.4960145
期刊：Review of Scientific Instruments
出版年份：2016
更新时间：2025-09-04 15:30:14
摘要：
本文描述了一种基于光刻和微芯片堆叠技术进步的等离子体光谱仪设计。一系列带有集成准直器的曲面板能量分析器被蚀刻在硅晶圆上。研究人员使用5千电子伏特的电子束对光谱仪元件（能量分析器和准直器）进行了测试。实测的准直器透射率和能量选择性均与设计目标高度吻合。单个晶圆元件可作为等离子体处理或聚变第一壁的诊断工具。
作者：
E. E. Scime，A. M. Keesee，M. Dugas，S. Ellison，J. Tersteeg，G. Wagner，A. Barrie，A. Rager，D. Elliott
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