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利用Hg2Cl2纳米片与十六烷基硫醇联合钝化GaAs(001)表面

DOI:10.1016/j.apsusc.2018.12.123 期刊:Applied Surface Science 出版年份:2019 更新时间:2025-09-23 15:22:29
摘要: III-V族半导体材料中的表面态会对其光学和电子性能产生不利影响,因此GaAs表面钝化技术长期以来备受关注。本研究展示了一种通过氯化汞(Hg?Cl?)与烷基硫醇两步协同处理显著降低GaAs(001)表面态的方法:首先将蚀刻后的晶圆浸入氯化汞溶液(无需还原剂),在GaAs表面均匀沉积约200纳米的Hg?Cl?纳米片;随后在Hg?Cl?-GaAs复合表面组装十六烷基硫醇(HDT)分子,通过电子转移过程降低表面态密度。值得注意的是,经此两步处理后光致发光(PL)信号显著增强,这可能源于作为表面态主要来源的As?O?和As?组分大幅减少甚至消失。汞物种的化学状态变化对实现表面钝化起关键作用。这种光子信号显著改善的复合GaAs材料为电子及光电器件制备开辟了新途径。
作者: Xiaohuan Huang,Peng Xia,Xu Wang,Yanjun Hu
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研究概述 实验方案 设备清单

采用两步法工艺,利用Hg2Cl2纳米片和十六烷基硫醇降低GaAs(001)表面态,以提升光子信号质量,满足电子与光电子应用需求。

采用Hg2Cl2纳米片与HDT组装的两步法能显著降低GaAs表面态,从而增强光致发光性能,并有望改进电子和光电器件性能,该方法高效且不会牺牲烷烃链。

该过程可能涉及HDT组装后纳米颗粒的部分聚集,且该方法对其他半导体或大规模生产的适用性尚未充分探究。

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