1：实验设计与方法选择：

采用微波等离子体增强化学气相沉积法（MPCVD），在甲烷/氢气/氮气混合等离子体中生长非晶碳膜。摩擦学测试在往复滑动条件下进行，通过改变载荷和循环次数开展实验。采用标度分析研究生长动力学。

2：样品选择与数据来源：

使用HPHT（110）单晶金刚石衬底（欧洲超硬材料公司提供的3×4×1.5毫米板材）和硅（100）衬底。制备了厚度为2.2、8、10.5和22.5微米的薄膜，对应生长时间分别为32、54、73和130分钟。

3：5毫米板材）和硅（100）衬底。制备了厚度为5和5微米的薄膜，对应生长时间分别为73和130分钟。 实验设备与材料清单：

3. 实验设备与材料清单：MPCVD系统（功率2.5千瓦，压力80托，温度1050-1100摄氏度）、CETR UMT-2摩擦磨损试验机、氮化硅球（REDHILL公司）、原子力显微镜（布鲁克MultiMode 8）、扫描电镜（蔡司EVO MA-15和蔡司Merlin）、触针式轮廓仪（马尔Perthometer）、显微拉曼光谱仪（雷尼绍inVia）、X射线衍射仪（理学Ultima IV）。

4：5千瓦，压力80托，温度1050-1100摄氏度）、CETR UMT-2摩擦磨损试验机、氮化硅球（REDHILL公司）、原子力显微镜（布鲁克MultiMode 8）、扫描电镜（蔡司EVO MA-15和蔡司Merlin）、触针式轮廓仪（马尔Perthometer）、显微拉曼光谱仪（雷尼绍inVia）、X射线衍射仪（理学Ultima IV）。 实验流程与操作步骤：

4. 实验流程与操作步骤：沉积薄膜后通过机械断裂法测量厚度。摩擦学测试参数：法向载荷0.5和2牛顿，位移振幅1毫米，频率5赫兹，循环次数最高达72,000次。采用原子力显微镜和扫描电镜分析表面形貌，轮廓仪测量磨痕，拉曼光谱和X射线衍射分析结构。

5：5和2牛顿，位移振幅1毫米，频率5赫兹，循环次数最高达72,000次。采用原子力显微镜和扫描电镜分析表面形貌，轮廓仪测量磨痕，拉曼光谱和X射线衍射分析结构。 数据分析方法：

5. 数据分析方法：从功率谱密度（PSD）函数计算标度指数。采用Erdemir等人的方法计算赫兹接触压力。对磨损体积和摩擦系数进行统计分析。