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电铸Al-Al?O?-Ag二极管价带态与缺陷导带的电子发射及紫外电致发光

DOI:10.1063/1.5024665 期刊:Journal of Applied Physics 出版年份:2019 更新时间:2025-09-23 15:22:29
摘要: 金属-绝缘体-金属(MIM)二极管的电铸过程是一种软介质击穿现象,会导致导电细丝穿过二极管形成。这是开发阻变存储器中可发生开关的导电态的关键步骤。研究了两组电铸铝-氧化铝-银二极管(非晶阳极氧化铝厚度介于20纳米至49纳米之间)的导通、电子发射到真空(EM)和电致发光(EL)特性。当出现表征铝-氧化铝-金属二极管电铸过程的电流突增时,EM和EL同时显现。电铸后电流-电压(I-V)特性中存在电压控制的微分负电阻。电子发射存在与施加电压VS相关的温度无关电压阈值VEM ? 4 V,并呈现指数增长。当VS超过第二个温度无关电压阈值UEM时,区域III会出现EM的二次指数增长——其中一组铝-氧化铝-银二极管的UEM约为6.6 V,另一组约为7.9 V。在4 V ? VS ? UEM的区域II内,EM基本保持恒定。采用两个带通滤波器对电铸铝-氧化铝-银二极管的EL进行表征:长通(LP)滤光片配合光电倍增管响应能量约1.8 eV至3.0 eV的光子;短通(SP)滤光片测量约3.0 eV至4.2 eV的紫外(UV)辐射。对应EM区域I,当VS超过温度无关电压阈值VLP ? 2.0 V和VSP ? 2.2 V时,EL呈现指数增长。在区域III,当VS超过温度无关电压阈值USP时,SP滤光片测量的UV出现二次指数增长——其中一组电铸铝-氧化铝-银二极管的USP ? 7.9 V,另一组≈8.8 V(USP > UEM)。两组均观测到来自非晶氧化铝价带态的EM。两组电铸铝-氧化铝-银二极管UEM与USP的差异,归因于非晶氧化铝中F0-或F+-中心基态形成的缺陷导带(氧空位)是否存在。在低电导态下观测到电铸铝-氧化铝-金属二极管的EM或EL呈指数增长,这与涉及导电细丝断裂的MIM二极管开关机制不符——因为若断裂影响二极管电流,理应同时切断EM和EL。
作者: T. W. Hickmott
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研究概述 实验方案 设备清单

研究电铸Al-Al2O3-Ag二极管中的电子发射(EM)和场致发光(EL)现象,重点关注价带态和缺陷导带的作用,并理解其对MIM二极管中电阻开关机制的影响。

研究表明,在Al-Al2O3-Ag二极管中,电铸过程会同时引发电子发射与场致发光现象,且具有明确的区域分布和温度无关的阈值。不同二极管组间UEM(电子发射阈值)与USP(场致发光阈值)的差异源于氧空位导致的缺陷导带变化。低电导状态下EM(电子发射)与EL(场致发光)的持续存在,与电阻开关的丝状断裂模型相矛盾,暗示存在其他机制。未来研究应探索其他绝缘体材料中缺陷能带特性及不同制备条件下的表现,以深化对存储器件应用的理解。

该研究仅限于特定厚度范围(20-49纳米)的Al-Al2O3-Ag二极管,可能无法推广至其他MIM系统。Al2O3的非晶特性及制备过程中潜在杂质(如碳和硫)可能影响结果。测量在真空条件下进行,可能与实际应用情况不符。EM/EL数据中阈值电压与噪声的任意定义会引入不确定性。进一步优化可考虑改变材料、厚度及环境条件。

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