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[IEEE 2017年第九届海湾合作委员会会议与展览(GCCCE)- 巴林麦纳麦(2017.5.8-2017.5.11)] 2017年第九届IEEE-GCC会议与展览(GCCCE)- 极化工程增强型高击穿电压氮化镓CAVET

DOI:10.1109/IEEEGCC.2017.8447991 出版年份:2017 更新时间:2025-09-23 15:22:29
摘要: 本工作提出并模拟了一种极化工程增强型电流孔径垂直电子晶体管(P-CAVET)。该结构的新颖性在于利用极化工程实现增强型工作模式。所提出的P-CAVET的电流阻挡层(CBL)具有混合特性,由氧化物部分和氮化铝(AlN)部分组成。CBL中的AlN部分用于将AlGaN/GaN界面处存在的三角势阱提升至费米能级以上,从而实现增强型工作模式。该CBL能更好地抑制垂直漏电,提高击穿电压。该结构既无需p型掺杂来实现增强型工作模式,也无需p型掺杂来形成电流阻挡层。二维校准模拟研究表明,该器件阈值电压为3.1V,相比传统CAVET器件击穿电压提升了100%。
作者: Sajad A. Loan,Sumit Verma,Abdullah G. Alharbi,Asim Murshid
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研究概述 实验方案 设备清单

提出并模拟一种极化工程增强型电流孔径垂直电子晶体管(P-CAVET),该器件无需p型掺杂即可实现增强型工作模式与高击穿电压。

提出的P-CAVET结构通过极化工程和混合电流阻挡层(无需p型掺杂),成功实现了增强模式工作,阈值电压为3.1V,击穿电压较传统CAVET(400V)提升100%(达800V),具备高压功率应用潜力。

该研究基于模拟而非实验制造,可能未考虑实际生产中的挑战或变量。其性能取决于精确的层厚度和材料特性,实际应用中可能需要进一步优化。

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